在线检测自动化站台的调试是三批设备中最顺利的。这台站台由国內一家自动化设备厂商与追光设备工程团队联合开发，集成了光学检测、电子束检测和自动分拣三个模块，替代了此前由三台独立进口设备组成的检测工序。联合开发的好处是定製化程度高，追光四期的晶圆尺寸、工艺节点和缺陷分类標准全部內置到检测算法中，不需要像进口设备那样做漫长的参数適配。调试只用了两天，光学检测模块的缺陷识別准確率就达到了百分之九十九点三，电子束检测模块的精度偏差控制在零点三纳米以內，自动分拣模块的误判率低於万分之二。

梁志远在自动化站台的验收报告上签了字，同时標註了一项后续待办：检测数据的实时回传接口需要和天枢os的產线管理系统做深度集成。目前站台的检测数据存储在本地伺服器上，每八小时批量上传一次，对於需要实时调整工艺参数的场景来说滯后太多。这件事牵扯到天枢os產线管理系统的底层架构改造，需要方程团队和林薇团队联合推进。梁志远把待办事项抄送给了方程和林薇，標註优先级为“高”，目標完成周期为一个月。

三批设备全部完成初步验收的当天晚上，梁志远在合城二期厂房的临时办公室里整理验收报告。报告的核心结论是：第三代刻蚀设备待气体纯化改造完成后重新测试，预计三天內完成；薄膜沉积设备改造机组的国產真空计待陶瓷封装运放到位后完成最终可靠性验证，预计八天內完成；在线检测自动化站台已通过验收，数据实时回传接口待后续集成。整体进度比原计划滯后了两天，但三个遗留问题都有明確的解决方案和时间节点。

他把报告发给章宸的同时，附带了一份关於合城二期厂务系统整体升级的建议。建议的核心是建立一套分级的洁净度標准——不同代际的设备对气体纯度、颗粒物浓度和振动控制的要求不同，用同一套厂务標准去適配所有设备，要么造成资源浪费，要么像这次刻蚀设备一样暴露出局部不达標的问题。梁志远建议將合城二期洁净间按设备代际分为三个等级，每个等级对应不同的厂务参数標准，既控制成本，又確保每台设备都在最优环境下运行。

章宸的批覆在次日清晨到达。他同意分级洁净度標准的方案，同时要求梁志远把合城二期的设备调试经验整理成一份標准化的验收流程文档，纳入追光设备工程团队的操作手册。“合城二期是追光系列產线的第二座工厂，但不会是最后一座。每一次设备调试踩过的坑，都要变成下一座工厂避开坑的路標。”章宸在批覆末尾写道。

老韩在验收报告呈报的当天下午从合城產业园赶来，带著一份追光五期投资方案的修订稿。三十五亿元的总投资额不变，但设备採购清单做了一处关键调整：原本计划从北洲进口的两台高精度离子注入机，替换为国內一家半导体设备厂商的同类產品，这家厂商的產品在追光四期的產线上已经完成了六个月的並行验证，性能数据与进口型號的差距从一年前的百分之十五缩小到了百分之五以內。替换之后，追光五期的设备国產化率將从原计划的百分之六十提升到百分之七十二。

“这不是为了国產化而国產化。”老韩把两家供应商的性能对比数据摊在桌上，“进口离子注入机的交货周期是十四个月，国內这家厂商的交货周期是七个月。追光五期的建设时间表压在二〇二八年总產能两万片的目標上，多出来的七个月窗口期比百分之五的性能差距更值钱。”

梁志远把对比数据逐项看完，在设备採购清单的修订意见栏签了字。他注意到这家国內离子注入机厂商的名字和天权4號质量流量控制器的国產供应商是同一家集团旗下的不同子公司，这种垂直整合的供应链结构在未来科技的国產替代版图中正在变得越来越普遍。產业扶持基金投资的那批初创企业中，至少有三家已经在为这家集团的设备提供配套零部件。

合城二期设备调试与验收的全部工作在第四天下午完成闭环。第三代刻蚀设备在气体纯化改造后重新测试，等离子体密度均匀性达到了出厂標准，射频反射功率稳定在目標范围內。国產真空计的陶瓷封装运放样品在第五天到货，丁勇用了三天完成可靠性验证，零点漂移在前十五分钟內的偏差从零点一个数量级缩小到进口型號的同等水平。薄膜沉积设备改造机组正式投入追光四期產线的日常运转，进口真空计的替换排期从剩下的两个半月压缩到了两个月。

梁志远在验收报告最终版上签了字，盖上合城製造中心的电子章，发送给章宸、苏黛和林薇。邮件正文里他只写了一句话：“三批设备全部通过验收，合城二期產能瓶颈解除，追光四期下月產能爬坡目標可达成。”

苏黛收到邮件后，在財务系统里核销了合城二期设备调试与验收的专项预算，同时通知供应链管理中心启动新加坡备件仓的过滤器补货流程。她在预算执行表的备註栏里写了一条批註：“设备调试实际成本比预算节省了百分之六，主要原因是国產替代方案在过滤器和封装环节的採购成本低於进口方案。节省部分建议转入下一阶段生態扶持与中小企业对接的专项经费。”

陈醒在当天晚上的每日简报中看到了这条批註，在旁边画了一个圈，圈外拉出一条线，线上写了一个待办事项：“生態扶持与中小企业对接——合城二期设备调试中涉及的三家国內供应商，是否具备纳入產业扶持基金第二批资助名单的条件？请方敏和苏黛联合评估。”

这条待办事项在次日早上出现在方敏的终端上。她把三家供应商的工商信息、技术专利清单和財务数据调出来，同时给恆信科技的王浩、绿能环保的陈涛和启智软体的赵宇分別发了一封邮件，通知他们准备参加即將举行的產业扶持基金成果匯报会。邮件末尾附了一句话：“这次匯报会同时也是第二批申请企业的初次评审会，请预留充足时间。”

方敏点击发送后，终端上新消息提示灯闪了一下。陈悦从南洋发来一份文件，標题是“生態扶持与中小企业对接——南洋渠道联合体推荐的三家本地技术培训服务商初步评估”。文件开篇写著：“南洋街边店认证维修网络的培训需求增长超出了课程库的交付能力，本地培训服务商的引入已从『选项』变为『必需』。”

方敏把两份文件並排打开，左边是国內供应商的评估表，右边是南洋本地服务商的推荐名单。生態扶持的战线正在从合城向海外延伸，而下一阶段要解决的核心问题，是让国內和海外的中小企业能在同一个扶持框架下找到各自的生长空间。